- устройство для ионного напыления
- sputterer
Русско-английский научный словарь.
Русско-английский научный словарь.
Сфокусированный ионный пучок — Сфокусированный (фокусированный) ионный пучок (СИП или ФИП) (англ. Focused ion beam (FIB)) широко используемая методика в материаловедении для локального анализа, н … Википедия
Микроэлектроника — область электроники (См. Электроника), занимающаяся созданием электронных функциональных узлов, блоков и устройств в микроминиатюрном интегральном исполнении. Возникновение М. в начале 60 х гг. 20 в. было вызвано непрерывным усложнением… … Большая советская энциклопедия